自動搬送により加熱炉内で所定の温度・時間でベーキング処理を行う装置です。　
加熱炉は、基板表面上への付着物を無くすため内部にクリーンユニットを内蔵しており、搬送の際に発生するわずかなダストも除去します。
加熱炉から出たワーク（物温１５０℃）は冷却ゾーンで室温近傍まで冷却の後、次工程へ送り出します。

■ワーク温度：１５０℃±５℃
■処理条件：ワーク昇温１５min以内
■アニール時間：３０min以上
■処理後炉外排出のワーク冷却：６min以内～室温+２０℃